关于河南中宜创芯发展有限公司光学级碳化硅粉体项目环境影响报告书拟批准公示

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河南中宜创芯发展有限公司光学级碳化硅粉体项目

河南中宜创芯发展有限公司

卫东区电子半导体产业园现有厂房

河南和君环境技术有限公司

项目拟投资6600万元在卫东区电子半导体产业园现有厂房（年产500吨高纯碳化硅粉体）内建设年产25吨光学级碳化硅粉体生产线。主要利用现有生产车间4#第一制粉车间改造建设（一层设置为空调机房、纯水制备间和废水处理间，二层设置为粉料合成区、备品备件区、原辅料库、冷却间、装料间、取料间、破碎筛分间、煅烧间、清洗间、包装间、暂存库和空压间等）。项目采用改进自蔓延高温合成法（SHS）制备碳化硅粉体，原料为纯度6N以上Si粉和C粉，配料和混料依托现有设备，新增一台3.0t/h纯水制备设施，一台小型氩气纯化器，一台氮气纯化器和一套空压设备。辅料为自制压缩空气，外购高纯氩气和氮气。设备包括合成炉、大腔室炉、颚式破碎机、洗料池、煅烧炉、筛分机、分选机、全自动超声清洗机等。主要设备为THG90B合成炉54台。

工艺技术:将高纯硅粉和高纯碳粉作为原料，使其在高温下持续反应，再经后续破碎、筛分、一次清洗、烘干、煅烧纯化、一次清洗、烘干、色选等一系列加工得到光学级碳化硅粉体。

1.上料、配料和混料废气（混料间负压收集）、破碎筛分废气（集气罩+车间微负压）、煅烧纯化和清扫废气等收集后依托现有滤筒处理器处理（DA001）；真空泵油雾废气依托现有静电油雾净化器+活性炭吸附处理（DA002）；根据报告书分析，依托可行。

2.超纯水制备系统浓水排入市政管网；清洗废水5%随清洗后粉体带走，随后经烘干蒸发，剩余95%经废水处理(三级沉淀+絮凝沉淀)后排入市政污水管网。

3、真空泵、破碎机和筛分机等采取选用低噪声设备、减振、隔声等措施防控噪声。

4.除尘灰回用于生产；废反渗透膜、废包装材料、废坩埚等一般固废由厂家回收处置；废水处理沉渣主要为碳化硅，可降级使用，定期清理外售。废活性炭增量和废矿物油属危废，交资质单位处置。

项目建设单位编制了公众参与说明，公开了报告书。